合肥芯碁微电子装备股份有限公司(简称：芯碁微装)，成立于2015年6月，注册资本9059万元，位于合肥市高新区集成电路产业基地，专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发和生产。主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备。